 |  |  |  | |
| Zakres powiększeń | Do 100 000X | Do 150 000X | Do 150 000X | Do 30 000X |
| Zdolność rozdzielcza | < 14nm | < 8nm tryb SE | < 8nm tryb SE | < 30nm |
| Napięcia przyspieszające | 5kV – 20kV | 5kV – 15kV | 5kV-10kV | 5kV |
| Max rozmiar próbki | 100mm x 100mm Wysokość do 35mm | 25-32mm średnica 30mm wysokość | 25-32mm średnica 30mm wysokość | 25-32mm średnica 30mm wysokość |
