Profilometr optyczny MICROPROF 300

  • Opis

Opis

Profilometr optyczny
MICROPROF300

Profilometr optyczny MicroProf 300 firmy FTR oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI dla dużych obszarów 415 mm x 305 mm. System został opracowany z myślą o klientach przemysłowych i badaniami w obszarze, R&D, wytwarzania oraz kontroli jakości produktu.

Specyfikacja profilometru optycznego MICROPROF300:

  • Łatwe i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej
  • Pomiary zgodne z normą DNI-ISO oraz standardem SEMI
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED
  • Pomiar w szybkością do 4kHz
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne
  • Możliwość rozbudowy o układ pomiaru grubości warstwy (FTM)
  • Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm
  • Szybkość przesuwu stolika 300mm/sec
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm
  • Płaskość przesuwu stolika <2 um/100mm
  • Maksymalna waga próbki do 5 kg
  • Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI

W celu dobrania odpowiedniej konfiguracji zapraszamy do kontaktu z naszą firmą