Profilometr optyczny MICROPROF 300
Opis
Profilometr optyczny
MICROPROF300
Profilometr optyczny MicroProf 300 firmy FTR oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI dla dużych obszarów 415 mm x 305 mm. System został opracowany z myślą o klientach przemysłowych i badaniami w obszarze, R&D, wytwarzania oraz kontroli jakości produktu.
Specyfikacja profilometru optycznego MICROPROF300:
- Łatwe i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III
- Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej
- Pomiary zgodne z normą DNI-ISO oraz standardem SEMI
- Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED
- Pomiar w szybkością do 4kHz
- Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne
- Możliwość rozbudowy o układ pomiaru grubości warstwy (FTM)
- Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm
- Szybkość przesuwu stolika 300mm/sec
- Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm
- Płaskość przesuwu stolika <2 um/100mm
- Maksymalna waga próbki do 5 kg
- Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI
W celu dobrania odpowiedniej konfiguracji zapraszamy do kontaktu z naszą firmą