Profilometr optyczny MICROPROF 100

  • Opis

Opis

Profilometr optyczny
MICROPROF 100

Profilometr optyczny MicroProf 100 firmy FRT oferuje szybkie, bezstykowe i niezwykle dokładne pomiary powierzchni zgodnie z normami DIN-ISO oraz standardem SEMI, system został zaprojektowany z myślą o klientach przemysłowych i badaniach jakości, dlatego oferuje niespotykany wcześniej stosunek jakości do ceny.

Specyfikacja Profilometru optycznego SYSTEM METROLOGICZNY MICROPROF 100:

  • Łatwe w obsłudze i wydajne oprogramowanie sterujące FRT MARK III;
  • Pomiar nieniszczący metodami metrologii optycznej;
  • Pomiary zgodne z normą DIN-ISO oraz standardem SEMI;
  • Silne i sterowane cyfrowo źródło światła HB-LED;
  • Pomiar z szybkością do 4 kHz;
  • Możliwość rozbudowy o dodatkowe sensory optyczne;
  • Pomiary próbek o wymiarach 250 mm x 200 mm x 50 (100) mm;
  • Szybkość przesuwu stolika 100 mm/sek;
  • Dokładność pozycjonowania stolika 50 nm;
  • Płaskość przesuwu stolika < 1 µm / 100 mm;
  • Maksymalna waga próbki do 5 kg;

Możliwość integracji z systemem do ładowania wafli krzemowych w standardzie SEMI;